| Ba_(0.9)Sr_(0.1)TiO_3薄膜的椭偏光谱研究 |
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| 引用本文： | 阳生红,李辉遒,张曰理,莫党,田虎永,罗维根,蒲兴华,丁爱丽. Ba_(0.9)Sr_(0.1)TiO_3薄膜的椭偏光谱研究[J]. 无机材料学报, 2001, 0(2) |
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| 作者姓名： | 阳生红 李辉遒 张曰理 莫党 田虎永 罗维根 蒲兴华 丁爱丽 |
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| 摘 要： | 用椭偏光谱仪首次在光子能量为２．１～５．２ｅＶ的范围内，测量了不同热处理温度下Ｂａ０．９Ｓｒ０．１ＴｉＯ３（ＢＳＴ）薄膜的椭偏光谱，建立适当的拟合模型，并用Ｃａｕｃｈｙ色散模型描述ＢＳＴ薄膜的光学性质，用最优化法获得了所有样品的光学常数（折射率η和消光系数κ）谱及禁带能Ｅｇ．比较这些结果，初步得到了ＢＳＴ薄膜的折射率η、消光系数κ和禁带能Ｅｇ随退火温度变化的变化规律．
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| 关 键 词： | 椭偏光谱 光学常数谱 BST薄膜 |
Spectroscopic Ellipsometry Studies of Ba_(0.9)Sr_(0.1)Ti0_3 Thin Films |
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| YANG Sheng-Hong,LI Hui-Qiu,ZHANG Yue-Li,MO Dang,TIAN Hu-Yong,LUO Wei-Gen,PU Xing-Hua,DING Al-Li. Spectroscopic Ellipsometry Studies of Ba_(0.9)Sr_(0.1)Ti0_3 Thin Films[J]. Journal of Inorganic Materials, 2001, 0(2) |
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| Authors: | YANG Sheng-Hong LI Hui-Qiu ZHANG Yue-Li MO Dang TIAN Hu-Yong LUO Wei-Gen PU Xing-Hua DING Al-Li |
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| Affiliation: | YANG Sheng-Hong1,LI Hui-Qiu1,ZHANG Yue-Li1,MO Dang1,TIAN Hu-Yong2,LUO Wei-Gen2,PU Xing-Hua2,DING Al-Li2 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | spectroscopic ellipsometry optical constant spectra BST films |
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