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飞秒脉冲激光沉积Si基a轴择优取向的钛酸铋铁电薄膜及Ⅰ-Ⅴ特性研究
引用本文:周幼华,郑启光,杨光,龙华,陆培祥.飞秒脉冲激光沉积Si基a轴择优取向的钛酸铋铁电薄膜及Ⅰ-Ⅴ特性研究[J].无机材料学报,2006,21(5):1230-1236.
作者姓名:周幼华  郑启光  杨光  龙华  陆培祥
作者单位:1. 华中科技大学激光技术国家重点实验室,武汉,430074;江汉大学物理与信息工程学院,武汉,430056
2. 华中科技大学激光技术国家重点实验室,武汉,430074
基金项目:湖北省武汉市青年科技晨光计划
摘    要:采用飞秒脉冲激光沉积系统,在Si(111)衬底上制备了a轴和c轴择优取向的Bi4Ti3O12薄膜.X射线衍射(XRD)表明室温(20℃)下沉积的Bi4Ti3O12/Si(111)薄膜呈c轴择优取向,晶粒的平均直径为20nm.在500℃沉积的Bi4Ti3O12/Si(111)薄膜呈a轴择优取向.测量了薄膜的电滞回线和Ⅰ-Ⅴ特性曲线,并用分布参数电路研究了Bi4Ti3O12薄膜的Ⅰ-Ⅴ特性曲线和铁电性的关联性.a轴择优取向Bi4Ti3O12薄膜的剩余极化强度Pr=15μC/cm2,矫顽力Ec=48kV/cm.

关 键 词:飞秒  脉冲激光沉积法(PLD)  钛酸铋  铁电薄膜
文章编号:1000-324X(2006)05-1230-07
修稿时间:2005年10月10

a-axis Oriented Bi4Ti3O12 Thin Films Deposited on Si(111) by Femtosecond Laser Ablation and Its Characteristic of Ⅰ-Ⅴ Curve
ZHOU You-Hua,ZHENG Qi-Guang,YANG Guang,LONG Hua,LU Pei-Xiang.a-axis Oriented Bi4Ti3O12 Thin Films Deposited on Si(111) by Femtosecond Laser Ablation and Its Characteristic of Ⅰ-Ⅴ Curve[J].Journal of Inorganic Materials,2006,21(5):1230-1236.
Authors:ZHOU You-Hua  ZHENG Qi-Guang  YANG Guang  LONG Hua  LU Pei-Xiang
Abstract:
Keywords:
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