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| 低压下用CO＋H2气体轩人造金刚石的相图计算 | |
| 引用本文： | 张卫,万永中.低压下用CO＋H2气体轩人造金刚石的相图计算[J].无机材料学报,1997,12(3):331-335. |
| 作者姓名： | 张卫 万永中 |
| 作者单位： | 复旦大学电子工程系 |
| 摘 要： | 用非平衡热力学耦合模型计算了低压下由ＣＯ＋Ｈ２气体制备人造金刚石的相图，这些相图与经典的平衡热力学理论计算的相图不同，都有一个金刚石生长区，金刚石生长区的存在是实现用ＣＯ＋Ｈ２气体制备人造金刚石的热力一文认为相图中的金刚石生长区是体系中体系中超平衡氢原子和超平衡２氧原子对金刚石相和石上不同作用的结果，不同压力下相图中金刚石生长区的稍有不同，压力降低时，金刚石生长区将向低ＣＯ浓度的方向移动，本文还将 |
| 关 键 词： | 相图 化学气相淀积 低压 人造金刚石 氧化碳 氢 |
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