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Al/Al2O3陶瓷接合基板的制备及性能研究
引用本文:彭榕,周和平,宁晓山,徐伟,林渊博.Al/Al2O3陶瓷接合基板的制备及性能研究[J].无机材料学报,2002,17(4):731-736.
作者姓名:彭榕  周和平  宁晓山  徐伟  林渊博
作者单位:清华大学材料科学与工程系新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室,北京100084
摘    要:在675-825℃、氮气气氛下,使用石墨模具压铸的方法制备出Al/Al2O3电子陶瓷基板,利用力学拉伸试验机测试了Al和Al2O3的结合强度,界面抗拉强度>15.94MPa,使用金相显微镜、SEM等微观分析仪器研究了其界面的微观结构。

关 键 词:Al/Al2O3电子陶瓷基板  制备  性能  敷接  剥离强度  氧化铝    结构
文章编号:1000-324X(2002)04-0731-06
收稿时间:2001-7-4
修稿时间:2001年7月4日

Research of the Performance of A1/Al2O3 Substrate
PENG Rong,ZHOU He-Ping,NING Xiao-Shan,XU Wei,LIN Yuan-Bo.Research of the Performance of A1/Al2O3 Substrate[J].Journal of Inorganic Materials,2002,17(4):731-736.
Authors:PENG Rong  ZHOU He-Ping  NING Xiao-Shan  XU Wei  LIN Yuan-Bo
Affiliation:TheStateKeyLaboratoryofNewCeramicandFineProcessing;DepartmentofMaterialsScienceandEngineering;TsinghuaUniversity;Beijing100084;China
Abstract:After getting rid of Al2O3 film from the surface of melting Al, Al can wet and bond Al2O3 substrate perfectly. In this work, by die-casting-bonding process, in the temperautre range of 948-1098K and under N2 atmosphere, Al/Al2O3 substrates were produced successfully. The performance of Al/Al2O3 substrates was investigated by SEM and mechanic testing equipment. The bonding strength of Al/Al2O3 measured is more than 15.94MPa.
Keywords:bonding  Al  die-casting-bonding Al2O3 substrates
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