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钇稳定氧化锆薄膜的制备及其微细加工
引用本文:张卫华,赵高扬.钇稳定氧化锆薄膜的制备及其微细加工[J].无机材料学报,2004,19(2):424-428.
作者姓名:张卫华  赵高扬
作者单位:西安理工大学材料科学与工程学院,西安,710048
基金项目:国家自然科学基金(50072018);陕西省教育厅纳米专项(02JN1-2)
摘    要:以甲醇为溶剂,硝酸氧锆、硝酸钇为前驱物,采用溶胶—凝胶方法,通过引入化学修饰剂乙酰丙酮(AcAcH),使乙酰丙酮和锆离子形成螯合物,得到了具有紫外光感光性的溶胶及其凝胶薄膜,提出了YSZ薄膜的微细图形加工新方法。UV—Vis分光光度计的紫外光谱测试结果表明:乙酰丙酮与锆离子形成的螯合物在室温、可见光、大气环境下,可以存在于凝胶薄膜中,并具有较好的热稳定性和光化学稳定性,其紫外光谱的特征吸收峰大约在310nm附近;325nm紫外激光光源照射凝胶薄膜,能破坏、分解凝胶薄膜中的这种螯合物结构,使凝胶薄膜的物理化学性质发生变化,实验发现,经过紫外激光照射的凝胶薄膜在适当的有机溶剂(如甲醇等)中的溶解度和溶解速度显著降低,利用这一特性,采用325nm紫外激光通过掩膜照射凝胶薄膜,并在适当的有机溶剂中溶洗掉未受照射的区域,经过800℃,20min热处理,得到了具有微细图形的YSZ薄膜,XRD测试表明该薄膜相结构为立方相。

关 键 词:氧化锆薄膜  溶胶-凝胶法  感光性  微细图形  制备  微细加工  YSZ薄膜
文章编号:1000-324X(2004)02-0424-05
收稿时间:2003-3-24
修稿时间:2003-5-16

Preparation of Yttrium-Stabilized Zirconia Films and Their Fine Patterning
ZHANG Wei-Hua,ZHAO Gao-Yang.Preparation of Yttrium-Stabilized Zirconia Films and Their Fine Patterning[J].Journal of Inorganic Materials,2004,19(2):424-428.
Authors:ZHANG Wei-Hua  ZHAO Gao-Yang
Affiliation:XianUniversityofTechnology;Xian710048;China
Abstract:
Keywords:ZrO2 thin films  sol-gel process  photosensitivity  fine patterning
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