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| 大口径平面面形绝对测量及重力影响分析 | |
| 引用本文： | 徐德,王艳茹,冉铮惠.大口径平面面形绝对测量及重力影响分析[J].中国测试,2015(4):14-18. |
| 作者姓名： | 徐德 王艳茹 冉铮惠 |
| 作者单位： | 中国工程物理研究院计量测试中心 |
| 摘 要： | 为分析大口径平面光学元件面形绝对测量的准确度,补偿重力引起的形变误差,在分析基于奇偶函数法的三平面互检算法的基础上,利用3片准300 mm口径的待测平面镜进行实验测量分析。对于三平面互检中不同装夹方式下的重力引起镜片形变情况进行有限元仿真分析,据此对测量数据进行修正并对最终面形结果进行补偿,使测量结果更加逼近真实值。 |
| 关 键 词： | 三平面互检 绝对测量 奇偶函数法 重力变形 有限元分析 |
Absolute measurement of large aperture flats and analysis of the influence of gravity |
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