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| φ200口径新型油扩散泵的研制 | |
| 引用本文： | 张国孝,耿立华.φ200口径新型油扩散泵的研制[J].真空,1973(4). |
| 作者姓名： | 张国孝 耿立华 |
| 作者单位： | 沈阳真空技术研究所 (张国孝)，沈阳真空技术研究所(耿立华) |
| 摘 要： | 一、前言 科学技术、新兴工业的发展,要求真空技术相应发展。对于常用的油扩散泵的性能提高,尤以抽速和极限真空更为迫切,这不仅有技术意义而且有经济价值。其中的中、小型油扩散泵,用户较多,批量较大,更有直接的现实的意义。因此,我们选择K-200油扩散泵做为研究对象。在连接尺寸符合部标准JB1088-67并采用普通材料的情况下,争取在现有的技术基础上使泵性能有一个新的提高。经过一个阶段的研究试验,性能已得到如下的数据(参阅表1): 二、结构的选择 本结构的选择主要考虑提高下述两个重要性能指标: ①极限真空为10-8乇数量级。 ②在压强1×… |
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