| 高功率脉冲磁控溅射试验平台设计及放电特性研究 |
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| 引用本文： | 王洪国,陈庆川,陈健,韩大凯,尹星,许泽金,沈丽茹,金凡亚.高功率脉冲磁控溅射试验平台设计及放电特性研究[J].真空,2012,49(5):25-27. |
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| 作者姓名： | 王洪国 陈庆川 陈健 韩大凯 尹星 许泽金 沈丽茹 金凡亚 |
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| 作者单位： | 核工业西南物理研究院,四川成都,610041 |
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| 摘 要： | 高功率脉冲磁控溅射(HPPMS)因其高离化率而得到广泛关注,是目前的热点研究方向,为此我们搭建了试验平台并对HPPMS的放电特性进行了研究.结果表明:脉冲峰值电流随脉冲电压的增加而增加,随着气压的增加而增加.本文为进一步研究高功率脉冲磁控溅射提供了硬件条件和参考.
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| 关 键 词： | 高功率脉冲磁控溅射 磁控靶 放电特性 |
Experimental platform design of HPPMS system and its discharge behavior |
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| WANG Hong-guo
,
CHEN Qing-chuan
,
CHEN Jian
,
HAN Da-kai
,
YIN Xing
,
XU Ze-jin
,
SHEN li-ru
,
JIN Fan-ya.Experimental platform design of HPPMS system and its discharge behavior[J].Vacuum,2012,49(5):25-27. |
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| Authors: | WANG Hong-guo CHEN Qing-chuan CHEN Jian HAN Da-kai YIN Xing XU Ze-jin SHEN li-ru JIN Fan-ya |
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| Affiliation: | (Southwestern Institute of Physics,Chengdu 610054,China) |
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| Abstract: | |
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