| 射频容性放电Ar等离子体离子能量分布和角度分布 |
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| 引用本文： | 吕少波,蔺增,巴德纯,王庆.射频容性放电Ar等离子体离子能量分布和角度分布[J].真空,2010,47(6). |
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| 作者姓名： | 吕少波 蔺增 巴德纯 王庆 |
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| 基金项目： | 沈阳科学技术计划项目，辽宁省科学技术基金 |
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| 摘 要： | 通过MC模型对射频容性Ar等离子体中离子入射的能量及其分布特性进行了模拟计算,结果表明,放电压力低时,高能量离子分布较多,且在高能区域分布曲线呈双峰形式,离子入射的角度较小;放电压力高时,低能量离子分布较多,能量分布曲线偏向于低能量区域,且高能峰消失,离子入射角度增大;放电电压升高,离子能量分布曲线向高能区域移动,能峰之间的距离变长,角度分布曲线向小角度区域移动;随着自偏压升高,入射离子的能量增大,能量分布曲线向高能量区域移动,能峰间距变化不大,离子入射角度减小。法拉第离子能量分析器的测试结果表明,低放电压力时,离子能量较高且在高能区域呈双峰形式,高放电压力时,离子能量较低且能量分布高能峰消失。
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| 关 键 词： | Ar等离子体 MC模型 能量分布 角度分布 法拉第能量分析器 |
Distributions of ionizing energy and incident angle in rf capacitative discharge Ar plasma |
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| LV Shao-bo,LIN Zeng,BA De-chun,WANG Qing.Distributions of ionizing energy and incident angle in rf capacitative discharge Ar plasma[J].Vacuum,2010,47(6). |
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| Authors: | LV Shao-bo LIN Zeng BA De-chun WANG Qing |
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