| 基于碳纳米管长线场发射的真空测量 |
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| 引用本文： | 杨远超,刘亮,姜开利,范守善.基于碳纳米管长线场发射的真空测量[J].真空,2010,47(4). |
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| 作者姓名： | 杨远超 刘亮 姜开利 范守善 |
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| 作者单位： | 1. 中国计量科学研究院,热工计量科学与材料特性测量技术研究所,北京,100013
2. 清华大学物理系,清华-富士康纳米科技研究中心,北京,100084 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，中国计量科学研究院博士科研专项启动基金 |
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| 摘 要： | 利用碳纳米管的场发射性质,研制了一种新型的真空测量装置。该装置采用了电离规的测量原理,它由碳纳米管阴极、阳极和收集极组成,通过测量离子流与电子流的比值来指示真空度。其中的碳纳米管阴极由碳纳米管长线制成,由于碳纳米管长线的宏观尺度,这种阴极可以高效地制备。在动态真空系统中测试了该装置的计量特性,结果在10-4～10-1 Pa的范围内有良好的线性特征。由于该装置采用了场发射阴极,它的功耗只有约5.5 mW。另外,相比于传统的热发射阴极,该装置没有明显的吸放气效应。这些特点使得它在密封真空器件,如场发射显示器,内部的真空测量中有广泛的应用前景。
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| 关 键 词： | 计量学 真空测量 碳纳米管长线 场发射 |
Vacuum measurement based on field emission of CNT yarn |
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| YANG Yuan-chao,LIU Liang,JIANG Kai-li,FAN Shou-shan.Vacuum measurement based on field emission of CNT yarn[J].Vacuum,2010,47(4). |
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| Authors: | YANG Yuan-chao LIU Liang JIANG Kai-li FAN Shou-shan |
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