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| 低频长脉宽高压脉冲电源设计 | |
| 引用本文： | 毛振宇,蒲世豪,陈东来,陈稳.低频长脉宽高压脉冲电源设计[J].真空,2014(5). |
| 作者姓名： | 毛振宇 蒲世豪 陈东来 陈稳 |
| 作者单位： | 核工业西南物理研究院; |
| 摘 要： | 本文针对离子注入工艺的特定要求,采用buck拓扑结构,以IGBT为斩波器件,并结合单片机与CPLD技术,研制了一种低频长脉宽的高压脉冲数字电源。通过离子注入试验并结合工艺研究验证了该电源的实用性和稳定性。 |
| 关 键 词： | buck拓扑 单片机 CPLD SG 脉冲变压器 |
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