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| 活塞间隙型流导性能研究 | |
| 引用本文： | 王金库,于红燕,葛楚鑫.活塞间隙型流导性能研究[J].真空,2014(5). |
| 作者姓名： | 王金库 于红燕 葛楚鑫 |
| 作者单位： | 中国计量科学研究院; |
| 基金项目： | 中国计量科学研究院“基本科研业务费”项目支持(编号:AKY-0805) |
| 摘 要： | 本文设计了一种基于活塞间隙的微小流导结构,流导数值可调,采用实验的方法研究了微小流导的压力特性、温度特性及调节重复性。讨论了该流导在微小气体流量计量的应用情况及前景。 |
| 关 键 词： | 微小流导 微小气体流量 Knudsen’s minimum |
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