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| 对吸气剂除气有关要素的探讨 | |
| 引用本文： | 朱雷,王海静,彭松华,黄理胜.对吸气剂除气有关要素的探讨[J].真空,2013,50(1). |
| 作者姓名： | 朱雷 王海静 彭松华 黄理胜 |
| 作者单位： | 南京忠铭电子科技有限公司,江苏南京,210061 |
| 摘 要： | 除气是吸气剂产品生产的关键环节,为了优化除气工艺做过不同形式的技术探讨.在用质谱进行这方面探讨中、初步得到了比较清晰的数据结果、为日后进一步工作做了准备.本文简要介绍这方面情况并进行有关讨论. |
| 关 键 词： | 吸气剂 除气 分压强定量测定 气体特性 |
On the factors of getter's degassing |
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| ZHU Lei , WANG Hai-jing , PENG Song-hua , HUANG Li-sheng.On the factors of getter's degassing[J].Vacuum,2013,50(1). | |
| Authors: | ZHU Lei WANG Hai-jing PENG Song-hua HUANG Li-sheng |
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