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| IDE-500L离子沉积设备通过技术鉴定 | |
| 作者姓名： | 林平 |
| 摘 要： | 技术鉴定。经机械部机械研究总院组织全国36单位共60人,该设备可满足离子沉积工艺要求,达到我国同类产品的先进技术水平。它具有下列特点和性能: 1.具有程序自动控制和手动控制两种功能。 2.结构比较紧凑,电子枪工作稳定,束斑较小,拆装方便。电子枪工作电压、束流、离子化电源,工作室压强等均有自动调节,并有偏转电流和电压函数跟踪系统,保证电子束轨迹恒定。差压孔有自动关闭装置,可缩短袖气时间,避免大气对枪室的污染,提高了灯丝寿命。 3.配备有三工位旋转坩埚,为进行单金属多层沉积或多层金属化合物沉积提供了可能性。 4.主要技术参数; -… |
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