| EB-PVD在热障涂层中的研究及应用 |
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| 引用本文： | 王栋,巴德纯,杜广煜,陈小龙,宫骏.EB-PVD在热障涂层中的研究及应用[J].真空,2013,50(5). |
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| 作者姓名： | 王栋 巴德纯 杜广煜 陈小龙 宫骏 |
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| 作者单位： | 1. 东北大学机械工程与自动化学院,辽宁沈阳,110819
2. 中国科学院金属研究所,辽宁沈阳,110016 |
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| 摘 要： | EB-PVD是以高能电子束为热源的一种蒸发镀膜技术.在真空的环境下,高能离子束轰击靶材(金属,陶瓷等),使其融化、升华、蒸发,最后沉积在基片上.由于EB-PVD技术具有蒸发和沉积速率高,涂层致密,化学成分易于精确控制,可得到柱状晶组织,无污染,热效率高,基片与薄膜之间有较强的结合力等诸多优点,已被广泛应用于国防和民用领域.本文介绍了EB-PVD技术在制备热障涂层时优势、不足与改进措施.
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| 关 键 词： | 电子束物理气相沉积 热障涂层 工艺特点 改进 |
Recent development in the thermal barrier coating prepared by EB-PVD |
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| WANG Dong
,
BA De-chun
,
DU Guang-yu
,
CHEN Xiao-long
,
GONG Jun.Recent development in the thermal barrier coating prepared by EB-PVD[J].Vacuum,2013,50(5). |
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| Authors: | WANG Dong BA De-chun DU Guang-yu CHEN Xiao-long GONG Jun |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | electron beam physical vapor deposition thermal barrier coatings technical characteristics improvement |
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