| 外延BiFe_(0.95)Mn_(0.05)O_3薄膜的结构和性能研究 |
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| 引用本文： | 马继奎,陈明敬,范志东,张东升,安海娇,史金超.外延BiFe_(0.95)Mn_(0.05)O_3薄膜的结构和性能研究[J].真空,2014(1). |
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| 作者姓名： | 马继奎 陈明敬 范志东 张东升 安海娇 史金超 |
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| 作者单位： | 英利能源(中国)有限公司光伏材料与技术国家重点实验室;风帆光伏能源有限公司; |
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| 基金项目： | 国家高新技术研究发展计划(863计划)资助项目(2012AA050304);太阳能光伏发电技术国家重点实验室建设项目(10963922D) |
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| 摘 要： | 采用磁控溅射的方法在SrRuO3(SRO)/SrTiO3(001)衬底上外延生长BiFe0.95Mn0.05O3(BFMO)薄膜,研究沉积温度对BiFe0.95Mn0.05O3薄膜结构、铁电性能、漏电流及疲劳保持特性的影响。X射线衍射图谱显示在780℃生长的BiFe0.95Mn0.05O3薄膜结构良好、无杂相峰。在此温度下,SRO/BFMO/SRO异质结电容器剩余极化强度P r最高,为115μC/cm2,矫顽场Ec约为128 kV/cm,电容器漏电流密度随着生长温度的升高而增大。BiFe0.95Mn0.05O3薄膜电容器在经过1010次极化反转和104s的保持时间后表现出良好的抗疲劳特性和保持特性。
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| 关 键 词： | BiFe.Mn.O 磁控溅射 铁电性 外延生长 |
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