正压氦质谱检漏灵敏度的校准和微流量的测量

本文讨论了常用正压氦质谱检漏方法中实现灵敏度校准需要解决的主要问题。提出了几种简单的微流量测量方法，估算了其检测限，讨论了影响测量精度的一些因素。对吸枪法正压检漏灵敏度的实时校准进行了实验研究。