HT-7装置首次超导调试过程中的残气质谱分析 |
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引用本文: | 王小明,谢一强,辜学茂.HT-7装置首次超导调试过程中的残气质谱分析[J].真空,1996(5). |
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作者姓名: | 王小明 谢一强 辜学茂 |
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作者单位: | 中国科学院等离子体物理所 |
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摘 要: | 本文给出MX7304A单极质谱计在HT-7装置首次低温超导调试过程中的应用。介绍进行残气质谱分析的目的,方法和采用的差分抽气质谱分析系统;给出装置调试过程中常温和低温状态下残气谱图;根据残气成分的分析和真空测量综合评价装置的真空状况。并利用质谱分析系统作为检漏手段
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关 键 词: | 残气质谱分析 差分抽气系统 |
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