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| 大面积矩形电弧蒸发源电磁场的研究 | |
| 引用本文： | 袁哲,张树林.大面积矩形电弧蒸发源电磁场的研究[J].真空,1993(4):1-9. |
| 作者姓名： | 袁哲 张树林 |
| 作者单位： | 北京电炉厂，东北大学，东北大学 沈阳市 110006，沈阳市 110006 |
| 摘 要： | 大面积矩形电弧蒸发源合理的设置靶源磁场并有效的控制电弧弧斑的运动是十分重要的。本文基于大量的试验研究对电磁场在靶面各处产生的磁场强度的计算进行了理论推导，建立了数学模型，并进行了比较精确的计算。计算结果与实测值很好的吻合，该计算可作为大面积矩形电弧蒸发源电磁场设计的依据。 |
| 关 键 词： | 离子镀 靶源 电磁场 |
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