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| TFT／PDP用真空成膜技术和设备 | |
| 引用本文： | 伊藤.TFT／PDP用真空成膜技术和设备[J].真空,1998(5):7-13. |
| 作者姓名： | 伊藤 |
| 作者单位： | 日本真空技术株式会社半导体电子机器营业本部 |
| 摘 要： | 本文介绍了ＴＦＴ／ＰＤＰ用真空成膜技术和设备，主要介绍了ＴＦＴ用ＩＴＯ膜和ＰＤＰ用ＭｇＯ／Ｃｕ，Ｃｒ，Ａｌ膜的成膜技术和设备。 |
| 关 键 词： | 保护膜 电极膜 滤光片 CF TFT PDP 薄膜技术 铬 |
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