| 大面积PECVD平行板电极间电势差分布均匀性数值研究 |
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| 引用本文： | 葛洪,张晓丹,赵静,赵颖.大面积PECVD平行板电极间电势差分布均匀性数值研究[J].真空,2009,46(2). |
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| 作者姓名： | 葛洪 张晓丹 赵静 赵颖 |
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| 作者单位： | 1. 南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,南开大学光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室,光电信息技术科学教育部重点实验室(南开大学,天津大学),天津,300071
2. 天津新华职工大学,天津,300040 |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究发展规划(973计划)，国家自然科学基金，南开大学博士启动基金，科技部国际合作重点项目，国家高技术研究发展计划(863计划)，教育部新世纪人才计划 |
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| 摘 要： | 应用二维准平面电路模型对等离子体增强化学气相沉积(PECVD)大面积平行板电极间电势差分布均匀性进行了数值研究.计算结果表明:在等离子体存在的条件下,电极间电势差分布非均匀性与真空下相比大大增加,电极间的电势驻波效应显著增强,在甚高频条件下会有一阶电势驻波节点出现.另外,波长衰减因子对电势差分布非均匀性影响也表明电极间的电势驻波效应在很大程度上是受等离子体辉光条件控制.本文数值计算结果与近来实验报道的相关结果有很好的吻合.
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| 关 键 词： | 等离子体增强化学气相沉积 电势驻波效应 波长衰减因子 |
Numerical study on uniformity of potential difference distribution of parallel-plate electrodes in large-area PECVD reactor |
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| GE Hong,ZHANG Xiao-Dan,ZHAO Jing,ZHAO Ying.Numerical study on uniformity of potential difference distribution of parallel-plate electrodes in large-area PECVD reactor[J].Vacuum,2009,46(2). |
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| Authors: | GE Hong ZHANG Xiao-Dan ZHAO Jing ZHAO Ying |
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