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| 直流三极偏压溅射沉积碳化钛膜 | |
| 作者姓名： | 张建民 |
| 作者单位： | 陕西师范大学物理系 |
| 摘 要： | 本文利用直流三极偏压溅射法在刀具上沉积了碳化钛膜，用球坑仪测量了膜厚，并用ＨＸ－１０００显微硬度计测量了膜的维氏硬度：实际试验表明，刀具的使用寿命提高了３～５倍。 |
| 关 键 词： | 溅射，碳化钛，球坑仪，硬度 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
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