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直流三极偏压溅射沉积碳化钛膜
作者姓名:张建民
作者单位:陕西师范大学物理系
摘    要:本文利用直流三极偏压溅射法在刀具上沉积了碳化钛膜,用球坑仪测量了膜厚,并用HX-1000显微硬度计测量了膜的维氏硬度:实际试验表明,刀具的使用寿命提高了3~5倍。

关 键 词:溅射,碳化钛,球坑仪,硬度
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