| 真空射频阻抗自动匹配方法分析 |
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| 引用本文： | 汪洪波,陈长琦,汪金新.真空射频阻抗自动匹配方法分析[J].真空,2010,47(6). |
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| 作者姓名： | 汪洪波 陈长琦 汪金新 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，合肥工业大学科学研究发展基金 |
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| 摘 要： | 本文介绍了真空射频电源使用时阻抗匹配的作用,阻抗自动匹配系统的实现方法,剖析了射频阻抗匹配器结构。在此基础上针对射频阻抗自动匹配目前所采用的算法和技术进行了研究,从控制系统的角度提出了从快速性、稳定性和智能性三方面来提高阻抗匹配的效率和匹配效果。最后对真空射频阻抗自动匹配系统广阔的应用前景进行了总结和展望。
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| 关 键 词： | 射频 阻抗自动匹配 快速性 智能性 |
Analysis of the method of automatic RF impedance matching in vacuum |
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| WANG Hong-bo,CHEN Chang-qi,WANG Jin-xin.Analysis of the method of automatic RF impedance matching in vacuum[J].Vacuum,2010,47(6). |
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| Authors: | WANG Hong-bo CHEN Chang-qi WANG Jin-xin |
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