新型玻璃膨胀法真空标准装置

本文介绍了一种量程较宽的真空标准装置。 ６．７ × １０－３～１．３ × １０２Ｐａ范围采用一级膨胀法．１．３ × １０２～３．７ × １０３Ｐａ范围采用与Ｕ型压力计直接比对．叙述了装置的原理、结构、定量传递阀的设计和隔断阀的选择。此外，还介绍了油柱高度．校准室和定量传递阀容积的测定方法。 经过对装置参数的测量和误差分析，以及分别用ＦＢ－１型标准电离规和电容薄膜规作为参考规，前后用本装置与麦氏计和高真空膨胀法装置比对，本装置在 ６．３ × １０－３～３．７ × １０３Ｐａ范围的综合不确定度不大于±３％。 本装置为一等真空标准装置，可用于对低真空和中真空规进行检定和测试．