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| 工业实用真空薄膜技术的进展 | |
| 引用本文： | 刘炳坤,曹仁福.工业实用真空薄膜技术的进展[J].真空,1997(6):1-4. |
| 作者姓名： | 刘炳坤 曹仁福 |
| 作者单位： | 扬州工学院(刘炳坤)，上海真空泵厂(曹仁福) |
| 摘 要： | 近年来，真空成膜技术及其薄膜产品已广泛应用于各个领域，本文介绍了几种镀膜技术和产品的发展情况，同时给出了某些评价。 |
| 关 键 词： | 真空成膜技术 薄膜产品 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
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