| PVD法制备TiN涂层界面特征与摩擦磨损性能 |
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| 引用本文： | 孔德军,付永忠,吴永忠,王文昌.PVD法制备TiN涂层界面特征与摩擦磨损性能[J].真空科学与技术学报,2012,32(12):1078-1083. |
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| 作者姓名： | 孔德军 付永忠 吴永忠 王文昌 |
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| 作者单位： | 常州大学机械工程学院 常州 213016 |
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| 基金项目： | 江苏省科技支撑计划(工业)(BE2012066);江苏省高校自然科学基础研究项目(No.08KJB430002);常州市应用基础研究计划(No.CJ20110019) |
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| 摘 要： | 采用物理气相沉积法在Cr12MoV钢基体上制备了TiN涂层,利用扫描电镜、能量色散谱、X射线衍射和轮廓仪对涂层形貌特征、化学元素、物相组成和表面粗糙度进行了表征,用划痕法测试其结合强度,并分析划痕法涂层失效过程.通过往复磨损试验考察了其摩擦磨损性能,对涂层磨损机理进行了讨论.结果表明,TiN涂层主要组成相为TiN,试样表面粗糙度Ra值为328.91nm,涂层表面显微硬度达到2100 ～ 2200 HV;涂层厚度约为5μm,与基材之间存在一定的混合界面,其界面结合强度为28.85 N；在干滑动磨损实验条件下摩擦系数为0.45～0.52,涂层具有优异的耐磨性,其磨损机制主要为磨粒磨损.
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| 关 键 词： | 物理气相沉积 TiN涂层 结合强度 摩擦系数 磨损性能 |
Surface and Interface Properties of TiN Films Grown by Physical Vapor Deposition |
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| Kong Dejun,Fu Yongzhong,Wu Yongzhong,Wang Wenchang.Surface and Interface Properties of TiN Films Grown by Physical Vapor Deposition[J].JOurnal of Vacuum Science and Technology,2012,32(12):1078-1083. |
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| Authors: | Kong Dejun Fu Yongzhong Wu Yongzhong Wang Wenchang |
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| Affiliation: | (College of Mechanical Engineering,Changzhou University,Changzhou 213016,China) |
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