| 原子氧处理对氧化锌薄膜的结构及光学特性的影响 |
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| 引用本文： | Wang Yunfei,王云飞,陈学康,郑阔海,李中华,王兰喜,杨生胜,冯展祖,高欣.原子氧处理对氧化锌薄膜的结构及光学特性的影响[J].真空科学与技术学报,2009,29(Z1). |
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| 作者姓名： | Wang Yunfei 王云飞 陈学康 郑阔海 李中华 王兰喜 杨生胜 冯展祖 高欣 |
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| 作者单位： | 兰州物理研究所,真空低温技术与物理国家重点实验室,兰州,730000 |
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| 基金项目： | 真空低温技术与物理国家重点实验室资助项目 |
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| 摘 要： | 本文采用脉冲激光沉积方法在Al2O3(0001)基底上,500℃的衬底温度条件下,制备出了具有高度C轴择优取向的氧化锌薄膜.用自行研制的同轴源型原子氧地面模拟装置,以1.62×1016AO·cm-2·s-1的原子氧束流强度(氧原子能量约5ev)对制备的薄膜进行了不同时间(30、60、90和120min)的处理.通过X射线衍射(XRD)、透射光谱和拉曼光谱等分析手段对原子氧处理前后薄膜的结构及光学特性进行了分析.氧化锌薄膜的结晶质量随原子氧作用时间增加而显著变好,晶粒尺寸呈变大趋势,缺陷浓度明显降低;氧化锌薄膜的禁带宽度随原子氧作用时间增加而变小.采用本方法处理的氧化锌薄膜,可用于制备高性能的氧化锌基光电器件.
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| 关 键 词： | 氧化锌薄膜 原子氧 改性 |
Influence of Atomic Oxygen Treatment on Microstructures and Optical Properties of ZnO Films |
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| Wang Yunfei.Influence of Atomic Oxygen Treatment on Microstructures and Optical Properties of ZnO Films[J].JOurnal of Vacuum Science and Technology,2009,29(Z1). |
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| Authors: | Wang Yunfei |
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| Keywords: | PLD |
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