| 荷能束辐照致使Cu/Ag表面偏析的研究 |
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| 引用本文： | 杨新菊
,陆明
,张强基.荷能束辐照致使Cu/Ag表面偏析的研究[J].真空科学与技术学报,1993(4). |
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| 作者姓名： | 杨新菊 陆明 张强基 |
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| 作者单位： | 复旦大学真空物理实验室，中国科学院北京真空物理实验室 上海 200433，北京 100080 |
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| 基金项目： | 国家教委高校博士点基金(No.8924609) |
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| 摘 要： | 本文研究了金属(Cu)/金属(Ag衬底)系统的荷能束辐照引起的表面偏析现象。观察到Cu在多晶Ag衬底上溅射淀积过程中,Ag原子在Cu膜表面的偏析,且淀积Cu原子能量越大,Ag原子偏析程度越大,即观察到了淀积Cu原子10~(-1)～1eV量级的平均能量差异对膜层表面偏析行为的影响。对溅射淀积所得膜层进行keV量级的离子束辐照,Ag原子的表面偏析程度更甚。
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| 关 键 词： | 表面偏析 辐照 荷能原子和离子束 |
ENERGETIC BEAM INDUCED SURFACE SEGREGATION OF Cu/Ag SYSTEM |
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| Yang Xinju,Lu Ming,Zhang Qiangji.ENERGETIC BEAM INDUCED SURFACE SEGREGATION OF Cu/Ag SYSTEM[J].JOurnal of Vacuum Science and Technology,1993(4). |
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| Authors: | Yang Xinju Lu Ming Zhang Qiangji |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Surface segregation Irradiation Energetic atom and ion beam |
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