半导体器件生产用真空测量仪表的维修与校正

半导体器件生产,在真空测量仪器方面,多配置热偶和电离规管作传感器的复合真空计,热阻真空计和磁场放电真空计亦有应用。根据工厂生产的特点:仪器用量大,连续开机时间长,所以仪器易损率大,就地及时维修和校正工作是很重要的现实问题。工厂本身也应定期或不定期作维护性粗校。现主要以北京真空仪表厂生产的Fzh-1型复合真空计为例,简要介绍我厂的使用和维修经验。