| 磁控溅射制备纳米TiO2薄膜光催化降解苯酚的研究 |
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| 引用本文： | 张丽丽,刘彭义,仲飞,翟琳,孙汪典.磁控溅射制备纳米TiO2薄膜光催化降解苯酚的研究[J].真空科学与技术学报,2005,25(4):259-262. |
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| 作者姓名： | 张丽丽 刘彭义 仲飞 翟琳 孙汪典 |
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| 作者单位： | 暨南大学理工学院,广洲,510632 |
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| 摘 要： | 采用射频磁控溅射方法分别在玻璃、A1片和ITO玻璃上制备出性能优良的TiO2纳米薄膜,研究了薄膜光催化性能.通过XRD、SEM和UV-Vis吸收光谱对薄膜进行表征,研究了不同退火温度和不同衬底对薄膜光催化性能的影响.结果表明:薄膜经500℃退火处理,TiO2由非晶转变为锐钛矿结构,并且退火后薄膜的紫外吸收波长发生红移,光催化降解性能提高;比较玻璃、ITO玻璃和A1为衬底制备的TiO2薄膜,以A1片为衬底的TiO2薄膜,由于形成Schottky势垒,光催化性更好.
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| 关 键 词： | 纳米TiO2薄膜 射频磁控溅射 退火 光催化降解 Schottky势垒 |
| 文章编号： | 1672-7126（2005）04-0259-04 |
| 收稿时间： | 2004-11-16 |
| 修稿时间： | 2004年11月16 |
Phenol Photo-Catalystic Degradation with Nano-TiO2 Films Grown by RF Magnetron Sputtering |
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| Zhang Lili,Liu Pengyi,Zhong Fei,Zhai Lin,Sun Wangdian.Phenol Photo-Catalystic Degradation with Nano-TiO2 Films Grown by RF Magnetron Sputtering[J].JOurnal of Vacuum Science and Technology,2005,25(4):259-262. |
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| Authors: | Zhang Lili Liu Pengyi Zhong Fei Zhai Lin Sun Wangdian |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Nano-TiO2 thin film RF magnetron sputtering Annealing Photocatalytic degradation Schottky barrier |
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