| 超高/极高真空校准装置的研制 |
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| 引用本文： | 李得天,李正海,郭美如,成永军,张涤新,冯焱.超高/极高真空校准装置的研制[J].真空科学与技术学报,2007,27(2):92-96. |
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| 作者姓名： | 李得天 李正海 郭美如 成永军 张涤新 冯焱 |
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| 作者单位： | 兰州物理研究所,兰州,730000 |
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| 摘 要： | 超高/极高真空校准装置由极高真空(XHV)系统、超高真空(UHV)系统、流量分流系统和供气系统四部分组成。使用磁悬浮涡轮分子泵和非蒸散型吸气剂泵组合抽气,在XHV校准室获得了10-10Pa的极高真空;提出了分流法校准真空规的方法,使校准下限延伸到10-10Pa;利用非蒸散型吸气剂泵对惰性气体无抽速的特性,使用惰性气体校准时,减小了校准下限的不确定度;提出了采用线性真空计测量激光小孔分子流流导的方法,减小了小孔流导的测量不确定度。校准装置复合了分流法、压力衰减法和直接测量法对真空规进行校准,压力校准范围为10-1Pa~10-10Pa,合成标准不确定度为0.41%~3.5%。
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| 关 键 词： | 超高真空 极高真空 校准装置 校准方法 |
| 文章编号： | 1672-7126（2007）02-092-05 |
| 修稿时间： | 2006-07-28 |
Calibration of Ultra High and Extra High Vacuum |
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| Li Detian,Li Zhenghai,Guo Meiru,Cheng Yongjun,Zhang Dixin,Feng Yan.Calibration of Ultra High and Extra High Vacuum[J].JOurnal of Vacuum Science and Technology,2007,27(2):92-96. |
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| Authors: | Li Detian Li Zhenghai Guo Meiru Cheng Yongjun Zhang Dixin Feng Yan |
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| Affiliation: | Lanzhou Institute of Physics, Lanzhou 730000, China |
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| Keywords: | UHV XHV Calibration apparatus Calibration method |
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