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| 氧化锌纳米薄膜材料的制备及AES,XPS研究 | |
| 引用本文： | 文全胜,潘孝仁,戴慕仉,陆元成,王声乐,张强基,张勇,庞世瑾.氧化锌纳米薄膜材料的制备及AES,XPS研究[J].真空科学与技术学报,1995(5). |
| 作者姓名： | 文全胜 潘孝仁 戴慕仉 陆元成 王声乐 张强基 张勇 庞世瑾 |
| 作者单位： | 华东理工大学物理系!上海200237，华东理工大学物理系!上海200237，华东理工大学物理系!上海200237，华东理工大学物理系!上海200237，华东理工大学物理系!上海200237，安徽淮北煤炭师范学院物理系，复旦大学材料科学系!上海200433，复旦大学材料科学系!上海200433，中科院北京真空物理 |
| 摘 要： | 利用直流气体放电活化反应蒸发方法制备了ZnO纳米薄膜，运用多种分析手段（AES，XPS，SEM，XRD等）研究了ZnO纳米薄膜的表面形貌、组成、结构以及表面性质，讨论了ZnO纳米薄膜的AES和XPS谱线宽度与粒径之间的关系，解释谱线加宽的基本原因。 |
| 关 键 词： | 纳米薄膜 俄歇电子能谱 X光电子能谱 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |