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| 偏压对磁控溅射制备Ni掺杂TiB2基涂层结构及力学性能的影响 | |
| 引用本文： | 李沛,谷文翠,钟庆东,贾丛丛,黄峰.偏压对磁控溅射制备Ni掺杂TiB2基涂层结构及力学性能的影响[J].真空科学与技术学报,2015,35(5). |
| 作者姓名： | 李沛 谷文翠 钟庆东 贾丛丛 黄峰 |
| 作者单位： | 1. 上海大学省部共建高品质特殊钢治金与制备国家重点实验室 上海200012;中国科学院宁波材料技术与工程研究所 宁波315201 2. 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 宁波315201 3. 上海大学省部共建高品质特殊钢治金与制备国家重点实验室 上海200012 |
| 摘 要： | 采用双靶非反应磁控溅射,通过改变基底偏压,制备了一系列Ni掺杂TiB2基的涂层.通过X射线能谱仪确定其成分,利用X射线衍射、扫描电镜对涂层的结构进行分析,并通过纳米压痕、维氏压痕、划痕以及摩擦磨损分别对涂层的硬度、模量、断裂韧性、膜基结合力和摩擦学性能进行了表征.结果表明:此工艺下制备的TiB2-Ni涂层中均存在六方相的TiB2结构,并且生长结构非常致密,无明显的柱状生长结构,表面粗糙度低;硬度均大于40 GPa;涂层均具有较好的断裂韧性;且随着偏压增大断裂韧性和结合力都有所提高;同时所制备涂层摩擦系数均在0.5～0.6,磨损率在同一数量级. |
| 关 键 词： | 磁控溅射 TiB2涂层 金属掺杂 断裂韧性 摩擦磨损 |
Synthesis and Mechanical Property Improvement of Ni-Doped TiB2 Coatings |
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| Li Pei,Gu Wencui,Zhong Qingdong,Jia Congcong,Huang Feng.Synthesis and Mechanical Property Improvement of Ni-Doped TiB2 Coatings[J].JOurnal of Vacuum Science and Technology,2015,35(5). | |
| Authors: | Li Pei Gu Wencui Zhong Qingdong Jia Congcong Huang Feng |
| Abstract: | |
| Keywords: | Magnetron sputtering TiB2 coatings Mental addition Fracture toughness Friction and wear |