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膜—衬界面中间层改善附着强度的作用
引用本文:
信觉俗.膜—衬界面中间层改善附着强度的作用[J].真空科学与技术学报,1987(6).
作者姓名:
信觉俗
作者单位:
东北工学院表面研究所
摘 要:
一、引言为了提高切削刀具的耐磨性,用不同方法在刀具表面镀上一层或多层TiN,TiC,TiCN,Al_2O_3等硬质膜。其中,PVD法以其特有的优点受到人们的重视。但目前商品化的膜层物质只有TiN。提高超硬耐磨膜与衬底的附着强度是PVD法急需解决的一个问题。
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