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| 铝基复合材料表面多层复合厚膜的研究 | |
| 引用本文： | 彭丽平,王兆松,李剑锋,吕世功,王春,武洪臣,巩水利,李国卿.铝基复合材料表面多层复合厚膜的研究[J].真空科学与技术学报,2010,30(5). |
| 作者姓名： | 彭丽平 王兆松 李剑锋 吕世功 王春 武洪臣 巩水利 李国卿 |
| 作者单位： | 1. 北京航空制造工程研究所高能束流加工技术重点实验室,北京,100024 2. 大连理工大学三束材料重点实验室,大连,116024 3. 大连交通大学,大连,116028 |
| 摘 要： | 对含50%AlN颗粒的铝基复合材料进行预处理后,在其表面依次采用浸锌化学镀镍工艺制备Ni-P过渡层,采用脉冲偏压磁过滤多弧离子镀工艺沉积硬质Ti/TiN调制周期膜,采用脉冲等离子体化学气相沉积工艺制备含氢类金刚石(DLC)膜等工艺最后形成了多层复合薄膜体系。利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、光谱仪、原子力显微镜、微载荷显微硬度仪、摩擦磨损试验机等设备分析了复合薄膜的组织结构、膜层形貌、截面形貌、显微硬度和摩擦系数等性能特点。测试表明:铝基复合材料/Ni-P层/Ti/TiN调制周期膜/含氢DLC膜这一梯度膜系具有结构交替变化,相邻界面形成混合层,性能梯度分布,硬度逐渐增加,摩擦系数小的特点。该复合工艺能够有效地解决铝基复合材料上制备硬质厚膜的热适配和晶格错配度大的难题,制备薄膜具有良好的膜基结合性能。 |
| 关 键 词： | 多层复合膜 Ti/TiN调制周期膜 类金刚石膜 摩擦系数 结合力 |
Deposition and Characterization of Multi-Layered Gradient Membrane on Aluminum-Based Composite Substrate |
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| Peng Liping,Wang Zhaosong,Li Jianfeng,Lv Shigong,Wang Chun,Wu Hongchen,Gong Shuili,Li Guoqing.Deposition and Characterization of Multi-Layered Gradient Membrane on Aluminum-Based Composite Substrate[J].JOurnal of Vacuum Science and Technology,2010,30(5). | |
| Authors: | Peng Liping Wang Zhaosong Li Jianfeng Lv Shigong Wang Chun Wu Hongchen Gong Shuili Li Guoqing |
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| Keywords: | |
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