| 电子回旋共振等离子体源的朗谬尔探针诊断 |
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| 引用本文： | 吴振宇,汪家友,杨银堂.电子回旋共振等离子体源的朗谬尔探针诊断[J].真空科学与技术学报,2004,24(1):71-73. |
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| 作者姓名： | 吴振宇 汪家友 杨银堂 |
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| 作者单位： | 西安电子科技大学微电子研究所,西安,710071 |
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| 摘 要： | 电子回旋共振(ECR)等离子体以其密度高、工作气压低、均匀性好、参数易于控制等优点在超大规模集成电路工艺中获得了广泛的应用.利用朗谬尔探针对ECR等离子体进行了初步的诊断研究,测量了等离子体的单探针伏安特性并计算出电子温度,电子密度和等离子体电势等参量.实验证明,ECR等离子体源能够稳定地产生电子温度较低的高密度等离子体.
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| 关 键 词： | 电子回旋共振 等离子体 诊断 朗谬尔探针 |
| 文章编号： | 1672-7126(2004)01-0071-03 |
| 修稿时间： | 2002年7月7日 |
Langmuir Probe Diagnosis of an Electron Cyclotron Resonance Plasma Source |
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| Wu Zhenyu ,Wang Jiayou and Yang Yintang.Langmuir Probe Diagnosis of an Electron Cyclotron Resonance Plasma Source[J].JOurnal of Vacuum Science and Technology,2004,24(1):71-73. |
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| Authors: | Wu Zhenyu Wang Jiayou and Yang Yintang |
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| Affiliation: | Wu Zhenyu *,Wang Jiayou and Yang Yintang |
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| Abstract: | Diagnostic test with Langmuir probe of the electron cyclotron resonance (ECR) plasma source was modified to evaluate our lab built ECR plasma etching system.The I V characteristics of the probe were measured and various physical quantities of the plasma,such as its electron temperature,its electron density and its plasma potential,were calculated.The results show that the ECR plasma source may generate stable,high density plasma with low electron temperature. |
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| Keywords: | ECR Plasma Diagnostics Langmuir probe |
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