| 三级差分抽气分子束质谱装置的设计和研究 |
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| 引用本文： | 丁洪斌,刘佳宏,宋志民.三级差分抽气分子束质谱装置的设计和研究[J].真空科学与技术学报,1999,19(2). |
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| 作者姓名： | 丁洪斌 刘佳宏 宋志民 |
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| 作者单位： | 大连理工大学等离子体物理化学实验室!大连116024 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金!(编号 1 95 75 0 0 7)，大连理工大学重点学科发展基金 |
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| 摘 要： | 研制了具有三级涡轮分子泵差分抽气系统的分子束质谱装置 ,该装置在 1330 0Pa典型气体采样压力下 ,三级差分抽气区的压力分别达到 5× 10 - 1,3× 10 - 3,1 2× 10 - 4Pa。利用该装置 ,已成功地实现了对活性离子物种N 和N 2 的“原位”检测
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| 关 键 词： | 原位取样 离子检测 分子束质谱 |
Design and Construction of a Molecular Beam Mass Spectrometer with Three Differential Pumping Stages |
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| Ding Hongbin,Liu Jahong,Song Zhimin,Yang Xuefeng.Design and Construction of a Molecular Beam Mass Spectrometer with Three Differential Pumping Stages[J].JOurnal of Vacuum Science and Technology,1999,19(2). |
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| Authors: | Ding Hongbin Liu Jahong Song Zhimin Yang Xuefeng |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | In situ sampling Ion detection Molecular beam mass spectrometry |
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