分流式超高真空电离规

本文提出一种电极采用“端流式”结构的调制型BA规的设计,可用于超高真空测量。它的灯丝和离子收集极分别置于加速栅的两端,而调制极为围绕收集极的环形圆片。使用时采用调制极电位由阴极电位跳变到收集极电位的工作模式,此时收集极得到的离子流占总离子流的份额发生变化,而它的光电流却并不随调制极电位而异,由此可基本上克服加速极软x射线的影响。实验得到这种规的灵敏度为30托~(-1)及15托~(-1),即调制系数达到50％。测量下限约4×10~(-12)托。