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低温等离子体化学反应装置的研制
引用本文:王世才,叶牧,卢丽珍,刘学恕,陈捷.低温等离子体化学反应装置的研制[J].真空科学与技术学报,1983(3).
作者姓名:王世才  叶牧  卢丽珍  刘学恕  陈捷
作者单位:中国科学院长春应用化学研究所,中国科学院长春应用化学研究所,中国科学院长春应用化学研究所,中国科学院长春应用化学研究所,中国科学院长春应用化学研究所
摘    要:本文介绍了三种等离子体聚合和处理装置:感应耦合式、外部电容耦合式和内极式(钟罩型)及各自的主要参数。用此装置研究了乙烯、丙烯、四氟乙烯和三氟氯乙烯等单体的聚合反应,获得较好的结果。装置的特点是,结构简单实用,操作简便,适用于实验室。

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