低温等离子体化学反应装置的研制 |
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引用本文: | 王世才,叶牧,卢丽珍,刘学恕,陈捷.低温等离子体化学反应装置的研制[J].真空科学与技术学报,1983(3). |
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作者姓名: | 王世才 叶牧 卢丽珍 刘学恕 陈捷 |
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作者单位: | 中国科学院长春应用化学研究所,中国科学院长春应用化学研究所,中国科学院长春应用化学研究所,中国科学院长春应用化学研究所,中国科学院长春应用化学研究所 |
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摘 要: | 本文介绍了三种等离子体聚合和处理装置:感应耦合式、外部电容耦合式和内极式(钟罩型)及各自的主要参数。用此装置研究了乙烯、丙烯、四氟乙烯和三氟氯乙烯等单体的聚合反应,获得较好的结果。装置的特点是,结构简单实用,操作简便,适用于实验室。
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