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| 掺杂钼对TiO2—x薄膜氧敏性能的影响 | |
| 引用本文： | 徐明霞,刘丽月,等.掺杂钼对TiO2—x薄膜氧敏性能的影响[J].材料研究学报,2000,14(B01):189-193. |
| 作者姓名： | 徐明霞 刘丽月 |
| 摘 要： | 以钛酸丁酯为原料，无水乙醇为溶剂，添加适量稳定剂制成稳定溶胶，用浸涂法在Al2O3基片上制备TiO2薄膜，经1000℃H2下不制得TiO2-x薄膜，在钼酸铵溶胶中一定时间得到掺钼薄膜，实验结果表明掺钼薄膜元件在800℃下的氧敏感性和重复性比未掺杂时提高，TiO2-x薄膜的电阻温度稳定性好，通过对薄膜的XPS分析探讨了钼在薄膜中的作用机理。 |
| 关 键 词： | 钼 氧敏元件 掺杂 二氧化钛薄膜 氧敏性能 制备 浸涂法 |
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