He等离子体辅助的纳米钨结构材料的制备

利用He等离子体辅助的方法制备了纳米钨结构材料,采用扫描电子显微镜、轻敲模式原子力显微镜对不同辐照离子剂量和功率变化条件下处理的样品形貌、表面粗糙度等特征进行了分析。结果表明,在放电功率为6 kW,离子能量为220 eV条件下,钨表面先出现纳米孔结构,随着离子辐照剂量的增加,纳米孔径逐渐增加,辐照剂量为1.0×10~(26) ions·m~(-2)时,样品表面呈现密集的无序分布的纳米丝结构层,纳米结构层的厚度也随辐照剂量的增加而增加。高分辨扫描电子显微镜的测试结果表明纳米丝根部与钨基体界面处存在大量的纳米级He泡,由此给出了纳米钨丝是由He泡演化而来的直接证据。