|
|||||
|
|
| 真空阴极离子镀法制备Ti/TiN/Zr/ZrN多层膜 | |
| 引用本文： | 李福球,洪瑞江,余志明,代明江,林松盛.真空阴极离子镀法制备Ti/TiN/Zr/ZrN多层膜[J].材料保护,2009,42(10). |
| 作者姓名： | 李福球 洪瑞江 余志明 代明江 林松盛 |
| 作者单位： | 1. 中南大学材料科学与工程学院,湖南,长沙,410083;广州有色金属研究院,广东,广州,510651 2. 广州有色金属研究院,广东,广州,510651 3. 中南大学材料科学与工程学院,湖南,长沙,410083 |
| 摘 要： | 过去,在不锈钢上沉积10μm以上多元多层软硬交替Ti/TiN/Zr/ZrN厚膜用以提高材料耐腐蚀性能的报道不多.采用阴极电弧离子镀结合脉冲偏压的方法制备了厚度选15 μm的Ti/TiN/Zr/ZrN多层膜.运用扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、显微硬度计、划痕仪等考察了多层膜的形貌、厚度、相组成、硬度以及膜/基结合力,并利用电化学方法评价了基体、单层TiN薄膜以及多层膜的电化学腐蚀性能.结果表明:制备的Ti/TiN/Zr/ZrN多层膜界面明晰、结构致密、晶粒细小;膜/基结合力大于70 N,显微硬度达28 GPa;多层膜比单层TiN膜在提高1Cr11Ni2W2MOV基体的抗腐蚀能力方面具有更显著的作用. |
| 关 键 词： | 离子镀 Ti/TiN/Zr/ZrN多层膜 显微结构 耐腐蚀性 |
Microstructure and Corrosion Resistance of Ti/TiN/Zr/ZrN Multilayer Film Deposited by Cathodic Ion Plating in Vacuum |
|
| LI Fu-qiu,HONG Rui-jiang,YU Zhi-ming,DAI Ming-jiang,LIN Song-sheng ..Microstructure and Corrosion Resistance of Ti/TiN/Zr/ZrN Multilayer Film Deposited by Cathodic Ion Plating in Vacuum[J].Journal of Materials Protection,2009,42(10). | |
| Authors: | LI Fu-qiu HONG Rui-jiang YU Zhi-ming DAI Ming-jiang LIN Song-sheng |
| Affiliation: | LI Fu-qiu1,2,HONG Rui-jiang2,YU Zhi-ming1,DAI Ming-jiang,LIN Song-sheng2 (1.School of Materials Science , Engineering,Central South University,Changsha 410083,China,2.Guangzhou Research Institute of Nonferrous Metals,Guang-zhou 510651,China). |
| Abstract: | |
| Keywords: | ion plating Ti/TiN/Zr/ZrN multilayer film microstructure corrosion resistance |
| 本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录！ | |