| 铀表面等离子体浸没离子注入沉积制备氮化层+Ti/TiN多层膜的结构与性能 |
| |
| 引用本文： | 黄河,白彬,赖新春,刘天伟,严东旭,龙重.铀表面等离子体浸没离子注入沉积制备氮化层+Ti/TiN多层膜的结构与性能[J].材料保护,2010,43(2). |
| |
| 作者姓名： | 黄河 白彬 赖新春 刘天伟 严东旭 龙重 |
| |
| 作者单位： | 表面物理与化学国家重点实验室,四川,绵阳,621900;表面物理与化学国家重点实验室,四川,绵阳,621900;表面物理与化学国家重点实验室,四川,绵阳,621900;表面物理与化学国家重点实验室,四川,绵阳,621900;表面物理与化学国家重点实验室,四川,绵阳,621900;表面物理与化学国家重点实验室,四川,绵阳,621900 |
| |
| 基金项目： | 表面物理与化学国家重点实验室支持项目 |
| |
| 摘 要： | 为了改善金属铀的摩擦磨损和抗腐蚀性能,采用等离子体浸没离子注入沉积(PIII&D)技术在铀表面氮化,再沉积Ti/TiN多层膜.利用扫描电镜和X射线衍射分析了薄膜的形貌和组织结构;对薄膜的摩擦磨损和抗湿热腐蚀性能进行了测试.结果表明:薄膜表面致密,界面晶粒柱状生长方式被阻断,晶粒细化;薄膜为Ti和TiN的双相结构,衍射谱中出现了UO_2和U_2N_3的衍射峰;薄膜大大提高了铀基体的摩擦磨损和抗湿热腐蚀性能,调制周期对薄膜性能的影响较大.
|
| 关 键 词： | 氮化 Ti/TiN多层膜 等离子体浸没离子注入沉积 铀 性能 |
Microstructure and Properties of Nitriding Layer +Ti/TiN Multilayer Films on Uranium Prepared by Plasma Immersion Ion Implantation and Deposition |
| |
| HUANG He,BAI Bin,LAI Xin-chun,LIU Tian-wei,YAN Dong-xu,LONG Zhong.Microstructure and Properties of Nitriding Layer +Ti/TiN Multilayer Films on Uranium Prepared by Plasma Immersion Ion Implantation and Deposition[J].Journal of Materials Protection,2010,43(2). |
| |
| Authors: | HUANG He BAI Bin LAI Xin-chun LIU Tian-wei YAN Dong-xu LONG Zhong |
| |
| Affiliation: | HUANG He,BAI Bin,LAI Xin-chun,LIU Tian-wei,YAN Dong-xu,LONG Zhong( State Key Laboratory for Surface Physics , Chemistry,Mianyang 621900,China) |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | nitriding Ti/TiN multilayer films uranium properties |
| 本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录！ |
|
