| 激光干涉仪在10米测长机导轨直线度检测中的应用 |
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| 引用本文： | 司卫征,何梦佳,林建荣.激光干涉仪在10米测长机导轨直线度检测中的应用[J].计量与测试技术,2010,37(6):40-41. |
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| 作者姓名： | 司卫征 何梦佳 林建荣 |
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| 作者单位： | 1. 广州市计量检测技术研究院,广东,广州,510030
2. 中山职业技术学院,中山,528404 |
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| 摘 要： | 为检测10米光栅测长机导轨的直线度,采用双频激光干涉仪系统作为主要测量工具,以最佳平方逼近法计算10米光栅测长机导轨的直线度。根据双频激光干涉仪的测量直线度测量原理,结合直线度的评定方法,对10米光栅测长机导轨的直线度的测量方法进行了介绍。实验表明,采用双频激光干涉仪测量直线度的方法实用,较为准确、方便、直观。
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| 关 键 词： | 十米光栅测长机 激光干涉仪 直线度 动态测量 |
Laser Interferometer Application in Measurement Straightness of a Guide of 10-meter Grating Machine for Length |
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