纳米级分辨力重载电控二维倾斜调整架设计

针对采用斐索干涉仪检测大口径光学元件超高精度变形中如何实现标准器高分辨力调整问题，设计了一种大载荷、电动高分辨率光学二维倾斜调整架，通过分析计算，确定了蜗轮蜗杆加滚动丝杆的二级传动机构，并选择步进力矩电机驱动，实现了能自锁的纳米级分辨力调整。结合实际工作负载进行了应力分析，证明其稳定性满足干涉仪检测的要求。