卧式重载高分辨力二维倾斜电动调整架设计

针对大型卧式菲索干涉仪检测大口径光学元件面形时的高分辨力二维倾斜调整问题，设计了一种卧式大负载二维倾斜电动调整架。设计中采用步进电机驱动、蜗轮蜗杆减速。滚动丝杠微调机构以及电子细分技术，实现了、倾角0．006”的高分辨力调整，并对关键件进行了静力学分析及实验分析，效果良好。