超声换能器的设计及性能检测

在超声键合系统中，超声换能器是键合装备的核心部分。基于等效电路法和解析法设计超声换能器，获得换能系统的基本结构尺寸：采用阻抗分析仪与多普勒测振仪对系统进行性能分析。实验表明实测频率与设计频率吻合，换能系统阻抗为21．3Q，振动位移达到3．7μm，满足超声芯片封装的工艺要求。