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离子束溅射沉积速率的分布
引用本文：王宜荣,谢乐.离子束溅射沉积速率的分布[J].四川真空,1991(4):11-14,16.
作者姓名：王宜荣  谢乐
摘    要：
关 键 词：离子束  溅射  沉积  速率  薄膜
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