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| 基于电容测微仪的深度自动测量系统 | |
| 引用本文： | 钱征宇,王宝光,郑义忠.基于电容测微仪的深度自动测量系统[J].计量技术,2005(10):13-15. |
| 作者姓名： | 钱征宇 王宝光 郑义忠 |
| 作者单位： | 天津大学精密测试技术与仪器国家重点实验室,天津,300072 |
| 摘 要： | 精密摄像系统中,摄像头镜面的安装精度要求非常高,需经过严格检测后方能使用.本文结合镜面实际安装工况,以5套精密电容测微仪为核心设计了非接触式自动测深系统.工件放置后,系统自动将其传送至测量范围内,测头自动调整至最佳测量姿态、距离,综合5套传感器数据计算出镜面安装深度.经鉴定整机精度达到2μm. |
| 关 键 词： | 电容测微仪 自动测量系统 摄像头 测量范围 传感器 |
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