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| 新法斜射照明干涉光触测量 | |
| 引用本文： | 李新春.新法斜射照明干涉光触测量[J].计量技术,1977(6). |
| 作者姓名： | 李新春 |
| 摘 要： | 万能测量显微镜是广泛应用的精密测试仪器。但它常用的普通下透射照明方法,由于光绕射等因素的影响,误差很大。所谓理想光圈,也因每台仪器结构和制造上的差异也并不那么准确和通用。轴切法虽能提高精度,但效率低,测量刀又易磨损,修造都困难,外购价格十分昂贵;加上安装压力和仪器空位限制,对于有些测量工作,如细丝、窄缝、小孔,以及软质材料零件的测量,就无能为力了。六十年代中,国内外曾采用缩小仪器上的可变光阑直径的方法,使在工件表面附近产生干涉条纹(图1),并将它作为瞄测标记,代替测刀刻线,但这种同心平行照明产生的干涉条纹,到工件的距离,是随工件曲率半径及仪器调焦误差而变化极大,它的不变光程差曲线是一个如图2所示的抛物纯型。因没有恒定的校正值和准确的瞄焦方法,这就限制了它的实用阶值。直到目前,它仍只限于与 |
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